СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ 5
1 Современное состояние вопроса 7
1.1 Токосъемники 7
1.2 Проблема износа 9
1.3 Тонкопленочные покрытия 10
1.4 Многокомпонентное покрытие для токосъемника 13
1.4.1 Выбор компонентов покрытия 13
1.4.2 Процентное соотношение компонентов 15
1.5 Нанесение многокомпонентных покрытий 17
1.5.1 Термическое испарение 17
1.5.2 Магнетронное распыление 18
1.5.3 Сравнение методов нанесения 19
1.5.4 Тип используемых мишеней 19
2 Технология нанесения многокомпонентного покрытия 21
2.1 Подготовка токосъемников 21
2.2 Нанесение покрытия 22
2.3 Расчет параметров нанесения 22
2.4 Контроль свойств и параметров покрытия 25
3 Изучение доступного оборудования 26
3.1 Установка «BALZERS 350G» 26
3.2 Подробное описание узлов и работа установки 27
3.2.1 Вакуумный узел 28
3.2.2 Газовый узел 28
3.2.3 Магнетроны 29
3.2.4 Управление 29
3.2.5 Прочее 30
3.3 Система автоматического управления установки 30
3.3.1 Принципиальная схема установки 30
3.3.2 Автоматизируемый принцип действия установки 34
3.3.3 САУ МРС 35
3.3.4 Питание установки 37
3.4 Управляющая программа и ее интерфейс 42
3.4.1 Технологическая камера 43
3.4.2 Система напуска газа 43
3.4.3 Блок ввода вращения 43
3.4.4 Блоки коммутации и управления МРС 43
3.5 Планы и задачи по модификации установки 44
4 Написание надстройки к программе 44
4.1 Анализ кода программы 44
4.2 Разметка, HTML и CSS 45
4.3 Логика, JS и TS 47
4.3.1 Типы данных 47
4.3.2 Циклы 48
4.3.3 Массивы 50
4.3.4 Ветвление 52
4.3.5 Функции 53
4.3.6 TypeScript 54
4.4 Управление нанесением 56
4.4.1 Суть управления 56
4.4.2 Использование управляющей программы 57
4.4.3 Управление заслонками магнетронов 61
4.4.4 Использование баз данных и дальнейшие перспективы 62
5 Реализация конструкторских решений 64
5.1 Оснастка для обеспечения серийности производства 64
5.2 Реализация управления заслонками на магнетронах 64
ЗАКЛЮЧЕНИЕ 65
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ 66