Технологические аспекты получения пленок твердого раствора карбида кремния с нитридом алюминия методом магнетронного распыления составных мишеней

Вид работы: | Предмет работы: | Количество листов: 52

В настоящее время для получения твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x, в основном, применяют методы сублимации и жидкофазной эпитаксии. Однако эти методы не позволяют получать однородные слои толщиной порядка десятков и сотен нанометров и имеют существенные недостатки, связанные с технологическими трудностями. В этой связи, разработка высокотехнологичного метода получения твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x имеет важное практическое значение. Цель работы. Основной целью исследований является получение пленок твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x методом магнетронного распыления составных мишеней SiC-AlN, исследование их структурных, электрических и оптических свойств в зависимости от условий осаждения.

ГЛАВА 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР
1. Методы получения тонких пленок
1.1. Термовакуумное напыление
1.2. Ионно-плазменные методы получения тонких пленок_
1.2.1. Катодное распыление_
1.2.2. Трехэлектродная система распыления_
1.2.3. Высокочастотное распыление_
1.2.4. Реактивное распыление
1.3. Ионно-лучевые методы получения тонких пленок
1.4. Молекулярно-лучевая эпитаксия
1.5. Лазерное распыление
2. Ионно-плазменные методы_
3. Метод магнетронного осаждения тонких пленок
3.1. Область разрядного промежутка
3.2. Параметры процесса магнетронного распыления
ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ И МЕТОДИКИПОЛУЧЕНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЯ ПЛЕНОК ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ (SiC)1-x(AlN)x
1. Экспериментальная установка осаждения пленок (SiC)1-x(AlN)x методом магнетронного распыления
2. Методика получения пленок в МРС_
3. Установка и методика оптических измерений _
Глава 3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЕ_
1. Скорость распыления мишени__
2. Скорость роста пленки _
3. Состав и структура пленок (SiC)1-x(AlN)x _
4. Оптическое поглощение пленок (SiC)1-x(AlN)x_
Заключение_
Литература_

ПОМОЩЬ С НАУЧНОЙ РАБОТОЙ

Подготовим для Вас работу по стандартам Вузов

Готовая работа с высокой уникальностью по минимальной цене

Срок выполнения от 2 часов

Антиплагиат более 70%

Быстрый заказ работы