Введение 6
1. Анализ технического задания 14
2. Разработка структуры быстродействующего фотодетектора 28
3. Разработка топологии интегральной схемы с фотоприемными элементами 30
4. Моделирование интегрального фотодетектора 32
5. Разработка технологического маршрута изготовления интегральных фотоприемных элементов 37
6. Разработка конструкции интегральной схемы с фотоприеными элементами 49
7. Технико – экономическое обоснование проекта 51
8. Безопасность и экологичность при разработке гетеропереходного инжекционного лазера 60
Заключение 80
Список использованных источников 81
Приложение 1 82
Приложение 2