Содержание
Введение 2
1. Анализ требований к качеству оптических поверхностей 4
1.1 Анализ неоднородностей оптических поверхностей и характеризующих их количественных параметров 4
1.2 Анализ классификаций поверхностных неоднородностей и требований к параметрам их качества 7
1.3 Методика анализа неоднородностей на поверхности оптической детали при помощи гармонического анализа 9
2. Анализ существующих методов контроля качества оптических поверхностей 11
2.1 Метод контроля качества оптических поверхностей на основе интерферометра с перестройкой длины волны излучения 13
2.2 Метод контроля качества оптических поверхностей с использованием дифракционной волны сравнения 15
2.3 Метод контроля качества оптических поверхностей на основе метода измерений коррелограмм 17
3. Анализ методов динамического контроля параметров качества оптических поверхностей 20
3.1 Динамический метод контроля качества оптических поверхностей с использованием пикселизованной поляризационной маски 20
3.2 Динамический метод контроля качества оптических поверхностей с тремя независимыми CCD камерами 23
3.3 Анализ частотных диапазонов методов динамической интерферометрии 26