Создание высокоточного прецизионного топологического рисунка в тонких, субмикронных (по толщине) слоях сейчас является наиболее сложной задачей микро- и нанотехнологии. Микротехнология имеет дело с элементами микросхем, размер которых превышает 1 мкм; субмикронная технология - 0,1... 1,0 мкм; нанотехнология - менее 0,1 мкм.
Фундамент современной микроэлектроники составляет планарная технология