Поверхность полученных образцов с АОА исследовали с помощью растрового электронного микроскопа SIGMA VP и сканирующего электронного микроскопа AURIGA CrossBeam (СЭМ) (рисунок 3.3). Изображение получается путем сканирования чрезвычайно малым сфокусированным пучком электронов (до нескольких нанометров в диаметре) по всей поверхности образца в массиве точек (пикселей), обычно 1024 на 768 пикселей. Максимальный размер получаемого изображения 16000 на 16000 пикселей. Ток зонда можно плавно изменять в диапазоне от 4 пА до 100 нА. Для исследования структуры поверхности электронный микроскоп оснащен детекторами:  вторичных электронов типа Эверхарта–Торнли;  вторичных электронов типа Эверхарта–Торнли для режима пониженного вакуума;  дифракция отраженных электронов (ДОЭ);  отраженных электронов сцинтилляторного типа на основе высокочувствительного YAG-кристалла (в качестве активной среды используется алюмо-иттриевый гранат);  вторичных электронов (Inlens), встроенных в полюсный наконечник колонны;  энергодисперсионный спектрометр рентгеновского излучения X-Max (ЭДС);  прошедших электронов для работы с образцами в режиме просвечивающей электронной микроскопии.