ГЛАВА 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР
1. Методы получения тонких пленок
1.1. Термовакуумное напыление
1.2. Ионно-плазменные методы получения тонких пленок_
1.2.1. Катодное распыление_
1.2.2. Трехэлектродная система распыления_
1.2.3. Высокочастотное распыление_
1.2.4. Реактивное распыление
1.3. Ионно-лучевые методы получения тонких пленок
1.4. Молекулярно-лучевая эпитаксия
1.5. Лазерное распыление
2. Ионно-плазменные методы_
3. Метод магнетронного осаждения тонких пленок
3.1. Область разрядного промежутка
3.2. Параметры процесса магнетронного распыления
ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ И МЕТОДИКИПОЛУЧЕНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЯ ПЛЕНОК ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ (SiC)1-x(AlN)x
1. Экспериментальная установка осаждения пленок (SiC)1-x(AlN)x методом магнетронного распыления
2. Методика получения пленок в МРС_
3. Установка и методика оптических измерений _
Глава 3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЕ_
1. Скорость распыления мишени__
2. Скорость роста пленки _
3. Состав и структура пленок (SiC)1-x(AlN)x _
4. Оптическое поглощение пленок (SiC)1-x(AlN)x_
Заключение_
Литература_