Система обладает несколькими степенями свободы управления (3 плоскости плюс захват) незакреплённым MEMS-роботом в воздухе и не ограничивается плоской поверхностью, как большинство систем Maglev. Технология позволяет использовать левитирующего робота MEMS для выполнения точных задач микроманипуляции. Для изготовления микроробота (MEMS-робота) используются обычные технологии изготовления MEMS.
ПЕРЕЧЕНЬ ПРИНЯТЫХ СОКРАЩЕНИЙ И ОБОЗНАЧЕНИЙ
ВВЕДЕНИЕ
1 ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ
2 ОБЗОРНО-АНАЛИТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ
3 СИНТЕЗ МАТЕМАТИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ ЭЛП
4 ПРОЕКТИРОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКОГО МАКЕТА СИСТЕМЫ ЭЛП
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ПРИЛОЖЕНИЕ А
ПРИЛОЖЕНИЕ Б